時光落筆,新程再啟。2026年3月,深耕泛半導體行業(yè)的工業(yè)軟件企業(yè)——上揚軟件(上海)有限公司(以下簡稱“上揚軟件”),迎來成立25周年的里程碑時刻。
自2001年在上海浦東創(chuàng)立以來,上揚軟件便以國產(chǎn)CIM(計算機集成制造)替代為核心目標,在國外廠商壟斷的賽道上逆勢突圍,歷經(jīng)二十五年堅守與創(chuàng)新,走出了一條從“跟跑”到“領(lǐng)跑”、從自主研發(fā)到生態(tài)共建的國產(chǎn)化奮進之路。如今,作為國內(nèi)泛半導體行業(yè)MES/CIM整體解決方案的領(lǐng)導者,上揚軟件以全棧式技術(shù)能力與超過200家客戶的實踐積累,成功為中國半導體產(chǎn)業(yè)的自主可控與智能制造升級筑牢工業(yè)軟件根基。
從0到1:以長期主義打磨國產(chǎn)CIM底座
回望2001年,中國半導體產(chǎn)業(yè)尚處于“造不如買”的思維慣性中。彼時,國內(nèi)晶圓廠的CIM系統(tǒng)幾乎被國外廠商壟斷,一套進口軟件動輒上千萬美元,且后續(xù)服務(wù)受制于人的隱憂始終存在。CIM系統(tǒng)作為晶圓廠的“神經(jīng)中樞”,串聯(lián)起生產(chǎn)、設(shè)備、數(shù)據(jù)、人員等全要素,不僅需要適配半導體制造的高精度、高復雜度、高穩(wěn)定性要求,更要實現(xiàn)與產(chǎn)線全流程的深度融合。其研發(fā)周期長、資金投入大、技術(shù)門檻高,成為眾多國內(nèi)企業(yè)不愿觸碰的“硬骨頭”。
在這樣的背景下,上揚軟件毅然認定了這條艱難的國產(chǎn)化賽道,從底層技術(shù)研發(fā)起步,聚焦產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,以長期主義的堅守,開啟國產(chǎn)CIM軟件的破局之路。
從2001年至2015年的十五年間,上揚軟件從4/5/6/8英寸晶圓廠一步步積累場景認知,持續(xù)打磨系統(tǒng)對復雜制造流程的適配能力。真正的轉(zhuǎn)折點出現(xiàn)在2017年。當國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)開始呼喚12英寸產(chǎn)線的自主可控時,上揚軟件啟動了myCIM 4.0的研發(fā)。這不是簡單的版本迭代,而是一次面向“半導體工業(yè)軟件珠峰”的攀登——12英寸晶圓制造中,每一片晶圓要在幾百臺設(shè)備間流轉(zhuǎn),歷經(jīng)近千道工序,對系統(tǒng)的實時性、穩(wěn)定性和并發(fā)處理能力提出了近乎苛刻的要求。2019年,上揚軟件myCIM 4.0正式推出,填補了國產(chǎn)軟件在12英寸半導體產(chǎn)線MES領(lǐng)域的空白。目前,在4/6英寸晶圓產(chǎn)線領(lǐng)域,上揚軟件市占率已突破60%;8英寸領(lǐng)域是國內(nèi)唯一實現(xiàn)規(guī)?;瘧玫谋就翉S商;12英寸產(chǎn)品線則處于持續(xù)迭代升級階段。其中,6英寸與8英寸產(chǎn)品線均為國內(nèi)同尺寸領(lǐng)域規(guī)模最大的量產(chǎn)線。
實踐應用中,公司MES系統(tǒng)已完成多尺寸產(chǎn)線高產(chǎn)能驗證:6英寸產(chǎn)線落地士蘭微,實現(xiàn)月產(chǎn)能24萬片穩(wěn)定運行;8英寸產(chǎn)線賦能芯聯(lián)集成,達成月產(chǎn)能近20萬片高效適配;12英寸產(chǎn)線亦于中芯國際和華 為完成6萬片月產(chǎn)能的技術(shù)測試驗證。
上揚軟件董事長兼CEO呂凌志博士,曾參與國家863 CIMS計劃,其將國產(chǎn)智造的種子深埋于企業(yè)發(fā)展的基因之中。“從863 CIMS計劃種下的國產(chǎn)替代種子,到從零起步做研發(fā),我們走的每一步都踩在行業(yè)的痛點上。站在25年的節(jié)點,未來我們?nèi)詫⑸钊胫悄苤圃斓纳钏畢^(qū),讓中國智造的‘大腦’真正扎根中國制造土壤,走向更廣闊的國際舞臺。”
產(chǎn)品邏輯:從流程管控到智能決策
上揚的產(chǎn)品布局,始終圍繞“晶圓廠需要什么樣的神經(jīng)系統(tǒng)”這一核心命題展開。其CIM體系并非簡單的功能堆砌,而是形成了從設(shè)備層到?jīng)Q策層的完整閉環(huán):
在制造執(zhí)行層,myCIM MES作為核心中樞,覆蓋4英寸至12英寸全尺寸晶圓廠,支持高產(chǎn)能場景。系統(tǒng)采用模塊化架構(gòu),基礎(chǔ)模塊涵蓋生產(chǎn)數(shù)據(jù)集市、在線庫房管理、工藝流程管理等核心功能,進階模塊則深入設(shè)備管理、在制品追蹤、工程數(shù)據(jù)采集等細分領(lǐng)域。
在設(shè)備交互層,EAP(設(shè)備自動化程序)基于自主知識產(chǎn)權(quán)的FA SECS Driver,實現(xiàn)機臺自動派工、配方遠程下載、參數(shù)實時采集,將人工操作誤差降至最低。RMS(配方管理系統(tǒng))則通過版本控制與簽核機制,確保工藝參數(shù)在生產(chǎn)過程中的精準傳遞與追溯。
在質(zhì)量與工藝控制層,SPC(統(tǒng)計過程控制)系統(tǒng)以BS架構(gòu)實現(xiàn)在線/離線監(jiān)控,APC(先進制程控制)通過實時調(diào)整工藝配方參數(shù)提升良率,F(xiàn)DC(故障檢測分類)則快速定位設(shè)備異?!@三者構(gòu)成了晶圓廠良率管理的“鐵三角”。
而在智能決策層,上揚軟件的Fully Auto解決方案展現(xiàn)了從“自動化”向“智能化”的躍遷:FAM(工廠活動管理)感知生產(chǎn)事件并驅(qū)動自動化流程,F(xiàn)SD(智能派工)固化排產(chǎn)經(jīng)驗并實時優(yōu)化加工順序,F(xiàn)OS(工廠排程優(yōu)化)則通過智能算法解決復雜的產(chǎn)線投入策略與WIP平衡問題。RTD(實時調(diào)度系統(tǒng))與RCM(遠程控制管理系統(tǒng))的加入,進一步強化了系統(tǒng)在超大規(guī)模產(chǎn)線中的實時響應與遠程管控能力。
這一產(chǎn)品矩陣的完整度,在國內(nèi)半導體工業(yè)軟件領(lǐng)域并不多見。更關(guān)鍵的是,所有系統(tǒng)均基于統(tǒng)一的微服務(wù)架構(gòu)與數(shù)據(jù)總線設(shè)計,避免了“煙囪式”建設(shè)帶來的信息孤島問題。
在芯聯(lián)集成電路制造股份有限公司董事長趙奇看來,上揚軟件的25年“本身就是一種非常了不起的成就”?!伴L久以來,芯聯(lián)集成和上揚軟件并肩戰(zhàn)斗、攜手共進,一起開創(chuàng)了高端CIM軟件的國產(chǎn)化發(fā)展之路。從產(chǎn)線自動化到數(shù)據(jù)智能化,上揚軟件始終是我們最信賴的CIM合作伙伴?!彼恼Z:“下一個25年,技術(shù)再攀高峰,業(yè)績‘上揚’不止”。
格科微有限公司COO李文強的觀察則更具細節(jié)感:“上揚軟件以穩(wěn)定可靠的CIM系統(tǒng)和專業(yè)高效的服務(wù),為格科微智能制造提供了堅實支撐。從后道到前道,上揚軟件打造了完整的智能制造解決方案,特別是嘉善12英寸Fab采用的上揚‘全家桶’CIM系統(tǒng),為產(chǎn)線穩(wěn)定高效運行提供了有力保障?!彼诖p方攜手并進,讓合作之路不斷“上揚”,也讓中國“芯”力量不斷壯大,共創(chuàng)中國半導體產(chǎn)業(yè)新高度。
這些來自產(chǎn)業(yè)一線領(lǐng)袖的認可,構(gòu)成了上揚軟件最堅實的品牌背書,也使其成為中國半導體產(chǎn)業(yè)智能制造升級的可信賴伙伴,屢獲客戶“最佳供應商”稱號。資本亦以行動回應上揚的堅持:2017年獲A輪融資,2019年完成B輪融資,2021年5月完成C輪融資,2022年再獲D輪融資。
再啟新程:以硬核實力奔赴未來新篇
深耕厚植,碩果盈枝。如今,上揚軟件已在成都、合肥、北京、西安、武漢、南京等地設(shè)立分支機構(gòu),服務(wù)版圖覆蓋半導體襯底材料、前道晶圓制造、后道封裝測試,以及光伏、LED等泛半導體全領(lǐng)域。
作為長期戰(zhàn)略伙伴,浙江芯道半導體科技有限公司董事長楊士寧高度肯定上揚在異構(gòu)集成產(chǎn)線建設(shè)中的關(guān)鍵作用:“二十五載風雨兼程,上揚軟件作為國內(nèi)半導體CIM領(lǐng)域的先行者與領(lǐng)跑者,以深耕產(chǎn)品服務(wù)的決心和卓越技術(shù)實力,為半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控做出了重要貢獻。”他特別提到,上揚軟件的12英寸全自動CIM系統(tǒng)有力支撐了芯盟科技異構(gòu)集成芯片產(chǎn)線的建設(shè)和發(fā)展,“軟件強則制造強,生態(tài)興則產(chǎn)業(yè)興”,期待雙方攜手共進,持續(xù)賦能中國“芯”生態(tài)。
站在2026年的節(jié)點,上揚軟件已服務(wù)超過200家客戶,涵蓋中芯國際、格科微電子、豪威半導體、芯業(yè)時代、華虹 集團等行業(yè)龍頭;累計實施案例超150個(其中集成電路晶圓制造工廠超80座),打造了系統(tǒng)化產(chǎn)品矩陣。更重要的是,上揚證明了國產(chǎn)CIM軟件可以在12英寸量產(chǎn)線上與國外巨頭同臺競技——這不是簡單的替代,而是基于本土制造場景的深度適配與持續(xù)優(yōu)化。
二十五載櫛風沐雨,上揚軟件從國產(chǎn)CIM的拓荒者,成長為泛半導體智能制造的領(lǐng)跑者。企業(yè)以自主技術(shù)打破海外壟斷,用全棧方案筑牢產(chǎn)線“大腦”,讓國產(chǎn)工業(yè)軟件在8英寸產(chǎn)線規(guī)?;涞亍⒃?2英寸高端制程站穩(wěn)腳跟。未來,上揚仍將硬核創(chuàng)新,攜手產(chǎn)業(yè)鏈伙伴,將中國“芯”的軟件根基扎得更深、筑得更穩(wěn),與中國半導體產(chǎn)業(yè)并肩攀上價值鏈之巔,讓創(chuàng)新不止,一路“上揚”!
上揚軟件二十五周年:以國產(chǎn)工業(yè)軟件之力,賦能半導體智造升級
來源:半導體世界