半導體世界消息，近日，央視財經(jīng)《對話》節(jié)目聚焦中國半導體設備產(chǎn)業(yè)突圍之路，“中國刻蝕機之父”尹志堯與中芯國際創(chuàng)始人張汝京同臺講述國產(chǎn)設備從無到有的攻堅歷程。張汝京透露，中芯國際已經(jīng)累計向中微半導體采購至少800臺刻蝕機。

60歲放棄美國百萬年薪毅然回國的尹志堯，曾在泛林、應用材料等國際半導體設備巨頭深耕20余年，手握數(shù)百項核心專利。2004年創(chuàng)立中微時，他要求所有員工不帶任何海外文件，用空白電腦從零起步。

歷經(jīng)22年深耕，中微公司市值已突破2714億元，其刻蝕設備覆蓋從65nm成熟制程到3nm先進制程的全節(jié)點，更成功打入臺積電5nm、3nm供應鏈，徹底打破了海外三巨頭對刻蝕機市場的長期壟斷。

中微能在國際巨頭的夾縫中撕開缺口，核心在于堅持原始創(chuàng)新。尹志堯透露，公司首創(chuàng)的甚高頻去耦合反應離子刻蝕技術(shù)，推出三年后便被泛林、應用材料、東京電子全部效仿，如今全球100%的CCP刻蝕機均采用這一技術(shù)。

而中微原創(chuàng)的雙臺機設計，可同時完成兩片硅片的刻蝕作業(yè)，能節(jié)省30%以上的材料成本，且性能優(yōu)于國際同類產(chǎn)品，售價更低。

中芯國際已采購800臺中微刻蝕機！創(chuàng)始人張汝京：沒有人使用國貨 怎么會進步

中微的首個量產(chǎn)客戶正是中芯國際。張汝京坦言：“試新的設備一定會有風險，但是我們試的時候不會貿(mào)然試很多，就是小批量的，先試5片、25片，再就是50片、100片，而且時間蠻長的，雙方都要負責。

比如我們用中微的設備，設備給我們的時候，我們并沒有付錢，這是中微投資者的，但是后面測試時，芯片就是我們自己負責，時間成本是我們負責，大家配合很好以后成功了，這個投資絕對劃得來。