半導體聯(lián)盟消息,2020年8月26日,據(jù)山東新聞網(wǎng)報道,山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;a(chǎn)一期項目正在進行最后的“沖刺”收尾,130余臺套工藝設備陸續(xù)進場,部分生產(chǎn)線已進入試運行階段。
山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項目總工程師肖清華表示,該項目設計的產(chǎn)品是6英寸和8英寸硅片,年產(chǎn)大概450萬片,其規(guī)模是在北京原廠的基礎上,翻了一倍。
資料顯示,有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;a(chǎn)項目由有研科技集團、日本RST株式會社控股的有研半導體材料有限公司出資,山東有研半導體材料有限公司建設。
據(jù)報道,有研科技集團是國資委管理的96家央企之一和國內(nèi)有色金屬行業(yè)規(guī)模最大的綜合性研究開發(fā)機構,在國內(nèi)唯一掌握18英寸硅單晶技術、12英寸硅片技術,率先實現(xiàn)8英寸硅片商業(yè)化,12—18英寸硅單晶產(chǎn)品可滿足全球最先進的半導體設備應用要求。
該項目是山東2019年省級重點項目,總投資約80億元,分兩期建設。其中,一期新建8英寸硅片生產(chǎn)線,年產(chǎn)能達180萬片,二期規(guī)劃12英寸硅片生產(chǎn)線,年產(chǎn)能360萬片。
據(jù)山東有研半導體材料公司總經(jīng)理張果虎此前介紹,該項目規(guī)模是北方最大的半導體材料基地。2019年3月份,項目舉行開工儀式,2019年12月18日,該項目正式舉行封頂儀式。如今,項目一期進入最后收尾階段,意味著該項目正在按照原計劃順利有序進行。