
2026年1月30日,極鉬芯科技聯(lián)合南京大學(xué)突破二維半導(dǎo)體量產(chǎn)化的生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)調(diào)控瓶頸,成果再登《Science》。三個(gè)月內(nèi)兩度登頂,標(biāo)志著我國(guó)在該領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)從"單晶制備"到"可量產(chǎn)化"的跨越,打通實(shí)驗(yàn)室到產(chǎn)業(yè)的核心環(huán)節(jié)。

Extremo Oxy-MOCVD 200 ultra
從“實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)”到“優(yōu)化生長(zhǎng)”:技術(shù)維度的戰(zhàn)略升維
2025年10月,突破襯底工程,實(shí)現(xiàn)6英寸單晶普適制備。本次突破直指產(chǎn)業(yè)化工藝核心——生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)控制。Oxy-MOCVD設(shè)備圍繞南大工藝?yán)砟钌疃榷ㄖ疲?quot;氧輔助預(yù)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)調(diào)控"與"無(wú)氫低碳硫源輸運(yùn)"雙系統(tǒng),從源頭重構(gòu)生長(zhǎng)環(huán)境,從根本上破解晶疇尺寸小、生長(zhǎng)速率低與碳污染等量產(chǎn)瓶頸,實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室制備到產(chǎn)業(yè)化的跨越。

MOCVD生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)過(guò)程
產(chǎn)業(yè)化閉環(huán):從技術(shù)突破到生態(tài)構(gòu)建的質(zhì)變
本次成果的深遠(yuǎn)意義在于,它與此前的突破共同構(gòu)成了一個(gè)自主、可控、完整的產(chǎn)業(yè)化技術(shù)閉環(huán):
技術(shù)閉環(huán)形成:襯底工程與生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)調(diào)控相得益彰,形成了驅(qū)動(dòng)二維半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化的 “雙引擎”,覆蓋了從襯底到材料生長(zhǎng)的全鏈條核心工藝。
裝備自主深化:Oxy-MOCVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)了100%國(guó)產(chǎn)化,并證明了其在支撐國(guó)際最前沿工藝創(chuàng)新上的卓越能力,標(biāo)志著我國(guó)在高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域已從“自主可用”邁向“引領(lǐng)定制”的新階段。
應(yīng)用落地加速:動(dòng)力學(xué)調(diào)控技術(shù)使材料在均勻性、純度、電學(xué)性能上達(dá)到全新的高度,可無(wú)縫對(duì)接下一代埃米級(jí)芯片、柔性顯示等高需求場(chǎng)景,預(yù)計(jì)將大幅縮短從材料到芯片的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

6英寸MoS?單晶表征
戰(zhàn)略宣言:以材料和裝備的研發(fā)引領(lǐng),賦能產(chǎn)業(yè)未來(lái)
在全球競(jìng)逐后摩爾時(shí)代技術(shù)制高點(diǎn)的背景下,極鉬芯科技通過(guò)本次合作,印證了極鉬芯科技作為“二維半導(dǎo)體材料和設(shè)備研發(fā)引領(lǐng)者”的使命與實(shí)力。公司通過(guò)“工藝與設(shè)備深度協(xié)同”的原創(chuàng)模式,證明了中國(guó)企業(yè)有能力在前沿科技領(lǐng)域,完成從原理創(chuàng)新、技術(shù)實(shí)現(xiàn)到裝備定義的全鏈條引領(lǐng)。
第一次,我們證明了中國(guó)的裝備能做出世界級(jí)的材料。第二次,我們證明了中國(guó)的創(chuàng)新能定義世界級(jí)的工藝和裝備。這不僅是技術(shù)的迭代,更是角色和層級(jí)的躍升。作為引領(lǐng)者,我們將繼續(xù)錨定“十五五”戰(zhàn)略方向,深化這一創(chuàng)新范式,推動(dòng)二維半導(dǎo)體從“中國(guó)創(chuàng)新”“中國(guó)制造”走向“中國(guó)智造”“中國(guó)定義”,為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的下一個(gè)時(shí)代貢獻(xiàn)核心力量。