3月25日至29日,以“科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合”為主題的2026中關(guān)村論壇年會在北京舉行。北京中科科儀光電科技有限公司(以下簡稱“科儀光電”)受邀攜旗下超高分辨場發(fā)射掃描電鏡KYKY-EM8200亮相“打造原始創(chuàng)新策源地”展區(qū),憑借先進(jìn)的微觀觀測性能與自主創(chuàng)新技術(shù),成為展會現(xiàn)場聚焦國產(chǎn)高端科學(xué)儀器突破的亮點(diǎn)展品。

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一、聚力自主技術(shù)攻關(guān),實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵性能突破

本次參展的KYKY-EM8200超高分辨場發(fā)射掃描電鏡,是科儀光電聚焦電子光學(xué)技術(shù)的新一代旗艦產(chǎn)品,各項(xiàng)核心性能指標(biāo)達(dá)到先進(jìn)水平,適配前沿科學(xué)研究與高端產(chǎn)業(yè)檢測需求。

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該款電鏡具備全新高分辨電子光學(xué)系統(tǒng),突破了新一代低像差物鏡、減速樣品臺及低噪聲Inlens探測器等多項(xiàng)自主創(chuàng)新技術(shù),15kV加速電壓下極限分辨率可達(dá)0.8nm,1kV低壓下分辨率達(dá)1.5nm,能夠清晰捕捉材料、半導(dǎo)體、生物、納米科技等領(lǐng)域樣品的亞納米級表面結(jié)構(gòu)。KYKY-EM8200電鏡提升了全量程加速電壓下的分辨本領(lǐng),即便在低壓工況下,也能實(shí)現(xiàn)不導(dǎo)電樣品無噴鍍直接觀測,大幅拓展了應(yīng)用場景,有效避免樣品損傷。

同時(shí),該款電鏡全面提高了操作智能化水平,集成復(fù)合圖像質(zhì)量增強(qiáng)、超分辨圖像重構(gòu)、跨模態(tài)圖像融合及動(dòng)態(tài)分析等技術(shù),實(shí)現(xiàn)分析效率與使用體驗(yàn)的雙重提升,為科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級提供關(guān)鍵科學(xué)儀器支撐。

二、六十載匠心傳承,鑄就國產(chǎn)電鏡創(chuàng)新根基

科儀光電作為北京中科科儀股份有限公司(下稱中科科儀)的全資子公司,全面繼承了其六十余年的電子光學(xué)核心技術(shù)積淀與完善的產(chǎn)業(yè)化體系,是中科科儀聚焦高端科學(xué)儀器板塊、加速科技成果產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)化的核心戰(zhàn)略布局。

中科科儀前身為中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠,擁有逾六十年的電鏡自主研發(fā)歷史,一路填補(bǔ)國內(nèi)多項(xiàng)技術(shù)空白,見證并推動(dòng)我國電子光學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)從無到有、從弱到強(qiáng)的完整發(fā)展歷程。早在1965年,中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠成功自主研制DX-2型透射電鏡,分辨率5Å,被全國儀器儀表新產(chǎn)品展覽會列為重大新產(chǎn)品在展館展出。

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1975年,自主研發(fā)出我國首臺掃描電子顯微鏡DX-3型,分辨率達(dá)10nm,斬獲全國科學(xué)大會一等獎(jiǎng)與中科院重大科技成果獎(jiǎng)一等獎(jiǎng),研發(fā)團(tuán)隊(duì)獲國務(wù)院總理親筆題詞榮譽(yù)證書,堅(jiān)實(shí)奠定了國產(chǎn)掃描電鏡的發(fā)展基礎(chǔ)。

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1989年,中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠研制成功我國第一臺帶有數(shù)字圖像處理功能的掃描電鏡KYKY-2000型,分辨率5nm,榮獲1994年中國科學(xué)院科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng),獲得第三屆BCEIA金獎(jiǎng)。

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2014年成功研制我國首臺場發(fā)射掃描電子顯微鏡KYKY-EM8000型,打破國外長期技術(shù)壟斷,2017年推出KYKY-EM8100型場發(fā)射電鏡,獲評北京市首臺(套)重大技術(shù)裝備。

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2024年,成功研制超高分辨場發(fā)射掃描電鏡KYKY-EM8200,突破新一代低像差物鏡、減速樣品臺及低噪聲Inlens探測器等多項(xiàng)自主創(chuàng)新技術(shù),分辨率突破0.9nm,為前沿科學(xué)研究與高端產(chǎn)業(yè)檢測提供性能優(yōu)越的解決方案。

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從初代國產(chǎn)電鏡到如今高分辨場發(fā)射電鏡,中科科儀始終堅(jiān)守“創(chuàng)新科學(xué)儀器,發(fā)展一流企業(yè)”的使命,扎根原始創(chuàng)新一線,全力攻克高端科學(xué)儀器“卡脖子”技術(shù),為國內(nèi)基礎(chǔ)科學(xué)研究、戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。

未來,科儀光電將繼續(xù)依托中科科儀的技術(shù)底蘊(yùn),持續(xù)加大電子光學(xué)核心技術(shù)研發(fā)投入,不斷優(yōu)化高端電鏡產(chǎn)品性能,推動(dòng)更多自主創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化落地,為實(shí)現(xiàn)國家科技自立自強(qiáng)貢獻(xiàn)力量。