ASM推出全新PE2O8碳化硅外延機(jī)臺(tái)
該機(jī)臺(tái)采用獨(dú)立雙腔設(shè)計(jì),兼容6英寸和8英寸晶圓,可實(shí)現(xiàn)增加產(chǎn)量的同時(shí),降低成本。
該機(jī)臺(tái)采用獨(dú)立雙腔設(shè)計(jì),兼容6英寸和8英寸晶圓,可實(shí)現(xiàn)增加產(chǎn)量的同時(shí),降低成本。